三軸加速度傳感器的主要類型有壓阻式、壓電式、靜電電容式三種，將測量對象的加速度轉(zhuǎn)換為傳感器單元的電阻/電壓/電容的變化，利用轉(zhuǎn)換電路將傳感器單元的變化值轉(zhuǎn)換為電壓值，根據(jù)信號進行放大和濾波處理，得到模擬量，將模擬量處理為合適的穩(wěn)定的輸出信號，此時輸出的信號為電壓值，最后通過ADC轉(zhuǎn)換器（模數(shù)轉(zhuǎn)換器），轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號。 三軸加速度傳感器的主要感應方式是測量電阻值、靜電電容值、應力、應變、位移等微小物理量的變化，并用電壓信號表現(xiàn)這些變化量。 是用于將加速度這一物理信號轉(zhuǎn)換為容易測量的電信號的測試儀器。 差容式力平衡加速度傳感器將測量的加速度轉(zhuǎn)換為電容器的電容變化。 實現(xiàn)這種功能的方法有可變間隙、可變面積、可變介電常數(shù)3種，差動式力平衡加速度傳感器利用可變間隙，且采用差動式結構，結構簡單，動態(tài)響應好，可進行無接觸式測量，靈敏度高，分辨率強由于自身電容一般很小，幾pF到幾百pF，其電容達到幾米的近年來，集成電路得到了廣泛應用，使電子電路與傳感器極板緊密接觸，逐漸克服了寄生電容、非線性等缺點。
搭載在壓縮機上的三軸加速度傳感器是由滾動軸承支撐的轉(zhuǎn)子，其振動傳遞到軸承蓋，安裝在軸承蓋上的振動速度傳感器利用內(nèi)部的運動線圈切斷磁力線輸出電壓，將信號發(fā)送到監(jiān)視器，測試機械故障并報警。
